信德迈科技（北京）有限公司带领DEUBLIN公司公司销售和工程技术团队拜访沈阳芯源微电子设备股份有限公司
-- 芯源微电子国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的厂商
日期 2024年5月

信德迈科技（北京）有限公司带领DEUBLIN公司公司销售和工程技术团队拜访沈阳芯源微电子设备股份有限公司。半导体设备对旋转接头的洁净度、密封性和寿命要求极为严苛，超长寿命，低扭矩，低泄漏量，及真空环境下稳定运转的多通路机械密封式旋转接头设计制造技术。Deublin杜博林产品以其卓越的可靠性和稳定性著称。在半导体制造这种对设备稳定性要求极高的行业中，Deublin杜博林的旋转接头和相关部件经过严格的质量检测和性能测试，能够在长时间、高负荷的工作条件下保持稳定运行。

沈阳芯源是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业，主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备，广泛应用于芯片制造、先进封装、MEMS、LED等领域。作为国内主要的半导体设备厂商之一，芯源微在涂胶显影设备和单片式湿法设备领域已深耕多年，产品作为主流机型已成功打入包括台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌等在内的多家国内知名一线大厂。

关于芯源微电子

沈阳芯源微电子设备股份有限公司成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业，专业从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务，致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。

芯源公司座落在沈阳市浑南区，公司占地2万平米，设置了专业的集成电路工艺开发和检测实验室以及半导体设备生产组装车间。芯源公司通过多年技术积累、创新提高，形成自主知识产权体系，已拥有授权专利174项，其中发明专利139项。沈阳芯源公司作为国内领先的高端半导体装备制造企业，所开发的涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机等产品，已形成完整的技术体系和丰富的产品系列，可根据用户的工艺要求量身定制。产品适应不同工艺等级的客户要求，广泛应用于半导体生产、高端封装、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等领域。可满足300mm前道制程及300mm先进封装厚胶工艺制程。

沈阳芯源连续承担国家02科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》项目，依托国家重大专项的支持，芯源将加速提升企业的创新能力和产品成套能力，以先进可靠的产品和优质服务赢得客户信赖，为客户提供先进的半导体设备，成为全球半导体设备领先企业，助推产业技术进步。

北方华创正式完成对芯源微董事会改组

6月23日，沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源微”）发布系列公告，正式宣布完成第三届董事会换届选举及高管聘任工作。根据当日股东大会及董事会会议决议，北方华创科技集团股份有限公司（以下简称“北方华创”）通过股权受让及董事会改组，进一步深化对芯源微的控制权，其提名的董博宇当选为芯源微新任董事长，任期三年。

根据公告，芯源微第三届董事会由9名董事组成，包括5名非独立董事、3名独立董事及1名职工代表董事。其中，非独立董事中，董博宇、李延辉、邓晓军3人均来自北方华创，其余两名非独立董事为芯源微内部晋升的高管崔晓微及股东辽宁科发代表黄鹤。独立董事分别为潘伟、李宝玉、钟宇，职工代表董事由王玉宝担任。

原芯源微董事长宗润福因年龄原因不再担任董事职务，转任荣誉董事长及首席顾问。宗润福自2002年芯源微成立起担任董事长，带领公司突破28nm及以上工艺节点涂胶显影技术，并于2019年登陆科创板。其持股比例为1.64%，仍将继续参与公司战略规划。

公开资料显示，新任的董事长董博宇有着深厚的半导体设备行业经验，且已在北方华创任职12年。董博宇出生于1981年，拥有日本福井大学物质工学博士学位，曾在日本荏原制作所精密电子公司任职，2013年归国加入北方华创，2024年12月至今，董博宇任北方华创执行委员会委员、高级副总裁，以及北方华创微电子装备有限公司董事长兼CEO。

此前3月10日，北方华创宣布计划通过“两步走”战略收购芯源微。第一步与芯源微的第二大股东沈阳先进制造技术产业有限公司（先进制造）签署协议，受让其持有的9.49%股份，并于5月29日完成了全部股份过户；第二步与芯源微的第三大股东沈阳中科天盛自动化技术有限公司（中科天盛）达成协议，通过公开征集转让方式受让其持有的8.41%股份，目前该交易仍在推进中。

此次董事会结构调整标志着北方华创对芯源微控制权的实质性落地。北方华创作为国内半导体设备龙头，旨在通过收购芯源微补齐光刻设备领域短板，形成“刻蚀+薄膜沉积+涂胶显影+清洗”的全流程设备能力，对标国际巨头。芯源微作为国内涂胶显影设备龙头，其产品与北方华创现有业务形成互补，双方将在技术、供应链、市场等方面展开协同。

沈阳半导体‘六小虎’：芯源微、拓荆、富创、中科仪、和研、新松机器人！

辽宁省的半导体装备企业主要集中在沈阳市，芯源微、拓荆科技、富创精密、中科仪、和研科技和新松机器人等素有‘六小虎’之称。

1、芯源微：2002 年由中科院沈阳自动化研究所发起创立，是国内唯一能提供前道量产型涂胶显影设备的厂商，在物理清洗、先进封装等领域也处国内细分市场龙头地位。产品已向台积电等知名大厂批量销售，获评行业五强。
2、拓荆科技：国内唯一实现集成电路 PECVD、SACVD、HDPCVD 设备产业化应用的企业，也是 ALD 设备领域的领先者。其核心产品 PECVD 设备，在芯片制造中至关重要，已形成覆盖全系列薄膜材料的设备体系。
3、富创精密：作为国内半导体设备精密零部件的领军企业，工艺完备性全球领先。产品覆盖多类零部件及气体管路，指标达国际主流标准，可批量供应 7nm 工艺制程的半导体设备零部件，已进入多家全球龙头厂商供应链。
4、中科仪：全称中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，是国内唯一在集成电路领域实现批量应用干式真空泵的企业。大股东国科科仪控股有限公司由中科院控股有限公司 100% 控股，在相关领域拥有重要地位。
5、和研科技：是国产切磨抛装备的领军企业，在划片机、切割分选机和研磨机等半导体封装领域关键设备上，逐步打破海外企业的垄断局面，推动着国内半导体封装设备的国产化进程。
6、新松机器人：2000 年诞生于中科院沈阳自动化研究所，2009 年在深交所挂牌上市。其全资子公司新松半导体核心产品包括真空机械手等，广泛服务于半导体制造全产业链，是国内领先的相关设备生产制造商 。